Серный гексафторидный газ

Сценарии полупроводникового применения: точно соответствовать требованиям передовых производственных процессов

Гексафторид серы 5N класса используется в качестве эффективного травления для точности гравюра схемы микронного микрона на кремниевых пластинах, избегая шероховатости боковой стенки или коротких замыканий устройства, вызванных примесей.

Его химическая стабильность может удалить остатки в полости оборудования осаждения, и в то же время, в качестве легирующего агента для изоляционного слоя, она может улучшить оптические характеристики оптических волокон одномоде и обеспечить стабильность процесса фотолитографии.

По сути, безопасные характеристики нерешимых и некоррозийных снижают риски для хранения и использования на заводах изготовления пластин и соответствуют стандартам полупроводниковых чистых комнат.

Правильная обработка гексафторида серы требует специализированных знаний и оборудования из -за его уникальной комбинации свойств. В то время как сам SF6 нетоксичен, газ в пять раз плотнее воздуха и может вызвать у асфиксию в ограниченных пространствах. Промышленные пользователи обычно работают с гексафторидом серы 99,997% или выше чистоты, каждый из которых требует немного разных соображений обработки.

Хранение и перенос гексафторида серы высокой чистоты 99,999% требует особой помощи для предотвращения загрязнения. Специально разработанные газовые шкафы с интегрированными системами очистки поддерживают качество серового гексафторида электронных сортов во время распределения. Все оборудование, вступающее в контакт с газом SF6, должно быть тщательно очищено и пассивировано, чтобы предотвратить реакции, которые могут генерировать опасные побочные продукты.

Процедуры аварийного отклика для серы гексафторида CAS 2551-62-4 выпускают подчеркивают вентиляционную и атмосферную мониторинг, а не традиционные методы сдерживания химических веществ. Современные системы обработки SF6 включают в себя газовые датчики в реальном времени, которые вызывают сигналы тревоги в концентрациях до 100 ч / млн, что значительно ниже опасных уровней, но достаточные для выявления утечек на раннем этапе.

горячая этикетка : Гексафторидный газ серы, Китай, производители гексафторидного газа серы, поставщики, поставщики, фабрика, Электронный серный гексафторид 99 999Гексафторид серы высокой чистоты 99 999аммиак легковоспламеняющийсяСера гексафторид 99 998Сера гексафторид CAS 2551 62 4Серный гексафторидный газ