Требования к контролю за загрязнением электронных газа становятся все более строгими

С модернизацией электронных потребительских продуктов, размер продуктов становится все больше и больше, а уход продукта и управление урожаем и дефектами становится все более и более строгим . Вся электронная промышленность имеет более и более строгие требования для чистоты электронных источников газа и устранения вторичного загрязнения в системе доставки . в основном, в основном, технические индикаторы, предъявляемые в промышленности, и в отрасли. Различие в отрасли. И несущественные. И несущественные. И несмотря на вселенные. Загрязнение напрямую связано с минимальным пределом обнаружения (LDL), вызванным развитием технологии аналитических приборов . Например, традиционные тестеры частиц лазерной частицы могут измерить 0. 1 микрон, в то время как технология конденсации ядер (CNC) может достигать 0 {10} 01 Микрон . 12- дюйм с сверхуровневой масштабной масштабной масштабной масштаб достигло более 200 фунтов/Вт (люмен/ватт), а требования к контролю чистоты для водорода и аммиака также менее 1ppb (части на миллиард). Аммиак создается с помощью многоэтапной дистилляции, и технические индикаторы достигают 7n (7 9 s) «белый аммиак» . 5 n водород должен быть очищен до 9N с использованием усовершенствованного очистителя мембраны палладиевой мембраны.
Своевременное применение объемных специальных газовых систем (BSGS) способствует улучшению контроля загрязнения . Во -первых, крупные контейнеры упаковки обеспечивают непрерывность качества газа и снижают риск загрязнения с множественными начинками {1}. Эффект чистки .